Group III-nitrides and 3C-SiC for micro- and nanoelectromechanical resonators

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Technische Universität Ilmenau. Fakultät für Maschinenbau Tagungsunterlagen
Weitere Verfasser:	Förster, Christian (BerichterstatterIn), Cimalla, Volker (BerichterstatterIn), Will, Florentina (BerichterstatterIn), Ambacher, Oliver (BerichterstatterIn), Brückner, Klemens (BerichterstatterIn), Stephan, Ralf (BerichterstatterIn), Hein, Matthias (BerichterstatterIn), Aperathitis, Elias (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2005
Schlagworte:
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