Precursor chemistry of advanced materials CVD, ALD and nanoparticles

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser:	Fischer, Roland A. (HerausgeberIn), Allendorf, Mark D. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Berlin, Heidelberg u.a. Springer 2005
Schriftenreihe:	Topics in organometallic chemistry 9
Schlagworte:	Organometallic compounds > Synthesis > Metal organic chemical vapor deposition > Chemical vapor deposition > Aufsatzsammlung > CVD-Verfahren > Ausgangsmaterial > Metallorganische Verbindungen > Atomschichtepitaxie > Nanopartikel > Epitaxie
Online Zugang:	Cover Publisher description Table of contents only
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