Precursor chemistry of advanced materials : CVD, ALD and nanoparticles

Precursor chemistry of advanced materials CVD, ALD and nanoparticles

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Fischer, Roland A. (HerausgeberIn), Allendorf, Mark D. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Berlin, Heidelberg u.a. Springer 2005
Schriftenreihe:Topics in organometallic chemistry 9
Schlagworte:
Organometallic compounds > Synthesis > Metal organic chemical vapor deposition > Chemical vapor deposition > Aufsatzsammlung > CVD-Verfahren > Ausgangsmaterial > Metallorganische Verbindungen > Atomschichtepitaxie > Nanopartikel > Epitaxie
Online Zugang:Cover
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Beschreibung
Beschreibung:XV, 213 S.
Ill., graph. Darst.
24 cm
ISBN:3540016058
3-540-01605-8
9783540016052
978-3-540-01605-2