Radio frequency power in plasmas 16th Topical Conference on Radio Frequency Power in Plasmas ; Park City, Utah 11 - 13 April 2005
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Körperschaft: | |
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Weitere Verfasser: | |
Format: | UnknownFormat |
Sprache: | eng |
Veröffentlicht: |
Melville, NY
American Inst. of Physics
2005
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Schriftenreihe: | AIP conference proceedings
787 |
Schlagworte: | |
Online Zugang: | Inhaltsverzeichnis Abstracts Publisher description |
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Beschreibung: | XIII, 457 S Ill., graph. Darst |
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ISBN: | 0735402760 0-7354-0276-0 |