Radio frequency power in plasmas 16th Topical Conference on Radio Frequency Power in Plasmas ; Park City, Utah 11 - 13 April 2005

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Topical Conference on Radio Frequency Power in Plasmas (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Wukitch, Stephen J. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Melville, NY American Inst. of Physics 2005
Schriftenreihe:AIP conference proceedings 787
Schlagworte:
Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
Abstracts
Publisher description
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Beschreibung
Beschreibung:XIII, 457 S
Ill., graph. Darst
ISBN:0735402760
0-7354-0276-0