Estimations of the piezoelectric properties of thin AIN layers for MEMS applications

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Mechanical engineering from macro to nano
Weitere Verfasser:	Tonisch, Katja (BerichterstatterIn), Cimalla, Volker (BerichterstatterIn), Förster, Christian (BerichterstatterIn), Dontsov, Denis (BerichterstatterIn), Ambacher, Oliver (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2005
Schlagworte:
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