Extremer Leichtbau von Messspiegeln für die interferometrische Positionsmessung

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Mechanical engineering from macro to nano
Weitere Verfasser: Frank, Thomas (BerichterstatterIn), Lotz, Markus (BerichterstatterIn), Hackel, Tobias (BerichterstatterIn), Theska, René (BerichterstatterIn), Höhne, Günter (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: 2005
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