Silicon wafer residual stresses determination by evaluating of the dynamic response

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Maschinenbau im Informationszeitalter ; Bd. 2: [Vortragsreihen
Weitere Verfasser: Vaněk, Oldrich (BerichterstatterIn), Hučko, B. (BerichterstatterIn), Držik, M. (BerichterstatterIn), Breternitz, Volkmar (BerichterstatterIn)
Pages:2
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: 1999
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Titel Jahr Verfasser
Offenes Entwurfssystem für mechatronische Antriebe 1999 Spiller, Sabine
Integraler Entwurf elektromagnetischer Führungssysteme 1999
Eine Methode zur Entwicklung neuer Funktionsprinzipien technischer Systeme in der Entwurfsphase 1999 Lysenko, Viktor G.
Technisch relevante, neuartige Antriebssysteme nach muskulärem Vorbild 1999 Riemer, Detlef
Vom Spinnenbein zum stoffschlüssigen Gelenk 1999 Zentner, Lena
Ein mathematisches Modell für peristaltische Bewegung als Grundlage für das Design wurmartiger Mikroroboter 1999 Zeidis, Igor
A micromechanical stroke amplifier for microfluidic components 1999 Schwesinger, Norbert
Mikrostrukturierungs- und Weiterverarbeitungstechnologien für fotostrukturierbare Gläser 1999
Mikromechanischer Schalter als SMD-Version 1999
Erzeugung magnetischer Bereiche durch Laserbearbeitung 1999 Lipfert, Robby
Plasma deposition and pattering of thin fluorocarbon polymer films for several applications in micromechanics and microsystem technology 1999 Yanev, Vasil
Damage assessment in thermally aged fibre reinforced glass matrix composites by means of chevron-notch flexural technique 1999
Tribologische Untersuchungen von SiC-faserverstärkten Verbundwerkstoffen gegen Glas bei erhöhten Temperaturen 1999 Winkler, Volker
Auf dem Weg von der Mikro- zur Nanotechnik 1999 Wurmus, Helmut
Aktive magnetische Führung für einen planaren Präzisionsdirektantrieb 1999
Gelenkig bewegliche Verbindungen mit besonderen Eigenschaften 1999 Böttcher, Frank
Sensing of micrograppers 1999
Untersuchung von Scheibenwischergetrieben mit optimaler Wischfläche 1999 Ruthardt, Michael
Analyse und Simulation von mechatronischen Systemen am Beispiel des Industrieroboters 1999 Gerlach, Erik
Ein Vergleich des Skelettmuskels mit Mikroaktuator-Kaskaden mittels FEM-Simulation des Muskels 1999
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