Sensing of micrograppers

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Maschinenbau im Informationszeitalter ; Bd. 2: [Vortragsreihen
Weitere Verfasser:	Wurmus, Helmut (BerichterstatterIn), Vanek, Oldrich (BerichterstatterIn), Hotovy, Ivan (BerichterstatterIn), Huran, Jozef (BerichterstatterIn), Rehacek, Vlastimil (BerichterstatterIn), Hrkut, P. (BerichterstatterIn)
Pages:	2
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	1999
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