Förderschwerpunkt Photonische Kristalle - Photonic Crystal Optical Circuits (PCOC), Teilvorhaben: Erforschung eines kombinierten Interferenz-/ Elektronenstrahllithographie Prozesses zur Entwicklung von Hartmasken : Abschlussbericht zum Teilprojekt ; Projektzeitraum: 01.03.2002 - 30.09.2004 ; innerhalb des bmb+f Verbundprojektes "Förderschwerpunkt Photonische Kristalle ..."

Förderschwerpunkt Photonische Kristalle - Photonic Crystal Optical Circuits (PCOC), Teilvorhaben: Erforschung eines kombinierten Interferenz-/ Elektronenstrahllithographie Prozesses zur Entwicklung von Hartmasken Abschlussbericht zum Teilprojekt ; Projektzeitraum: 01.03.2002 - 30.09.2004 ; innerhalb des bmb+f Verbundprojektes "Förderschwerpunkt Photonische Kristalle ..."

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Gesellschaft für Angewandte Mikro- und Optoelektronik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Kurz, Heinrich (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Aachen ca. 2004
Schlagworte:
Forschungsbericht
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