Förderschwerpunkt Photonische Kristalle - Photonic Crystal Optical Circuits (PCOC), Teilvorhaben: Erforschung eines kombinierten Interferenz-/ Elektronenstrahllithographie Prozesses zur Entwicklung von Hartmasken Abschlussbericht zum Teilprojekt ; Projektzeitraum: 01.03.2002 - 30.09.2004 ; innerhalb des bmb+f Verbundprojektes "Förderschwerpunkt Photonische Kristalle ..."
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| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | ger |
| Veröffentlicht: |
Aachen
ca. 2004
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Tag hinzufügen | Beschreibung: | Förderkennzeichen BMBF 01 BK 252 Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden Auch als elektronische Ressource vorh |
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| Beschreibung: | 32 Bl. Ill., graph. Darst. |