Magnetische Schichten - Schlüssel zur Realisierung mikromechanischer Sensor- und Aktorlösungen

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Maschinenbau im Informationszeitalter ; Bd. 2: [Vortragsreihen
Weitere Verfasser:	Bartsch, Heike (BerichterstatterIn), Hofmann, Thomas (BerichterstatterIn), Kallenbach, Matthias (BerichterstatterIn), Wurmus, Helmut (BerichterstatterIn)
Pages:	2
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	1999
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