Optische Formbestimmung von Mikrostrukturen

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Maschinenbau im Informationszeitalter ; Bd. 1: [Vortragsreihen
1. Verfasser:	Brückner, Peter (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Nehse, Uwe (VerfasserIn), Volk, D. (VerfasserIn)
Pages:	1
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	1999
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