Mikro-System-Technik Chemnitz '05 Mikromechanik & Mikroelektronik ; 7. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 26./27. Oktober 2005

Literaturangaben

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaften: Technische Universität Chemnitz (BerichterstatterIn), Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Dötzel, Wolfram (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Chemnitz Techn. Univ. 2005
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Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
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