Mikro-System-Technik Chemnitz '05 Mikromechanik & Mikroelektronik ; 7. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 26./27. Oktober 2005

Literaturangaben

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Körperschaften:	Technische Universität Chemnitz (BerichterstatterIn), Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Dötzel, Wolfram (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Chemnitz Techn. Univ. 2005
Schlagworte:	Konferenzschrift > Mikrosystemtechnik
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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