EMLC 2005 : 21th European Mask and Lithography Conference ; 31 January - 3 February 2005, Dresden, Germany

EMLC 2005 21th European Mask and Lithography Conference ; 31 January - 3 February 2005, Dresden, Germany

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaften: EMLC (VerfasserIn), Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Behringer, Uwe F. W. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Bellingham, Wash. SPIE 2005
Schriftenreihe:Proceedings of SPIE 5835
Schlagworte:
Integrated circuits > Masks > Microlithography > Konferenzschrift > Maske > Lithografie
Online Zugang:Table of contents only
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Beschreibung
Beschreibung:XXX, 302 S
ISBN:0819458309
0-8194-5830-9