Scientific wet process technology for innovative LSI/FPD manufacturing

Scientific wet process technology for innovative LSI/FPD manufacturing

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Ohmi, Tadahiro (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Boca Raton, Fla. u.a. CRC Taylor & Francis 2006
Schlagworte:
Semiconductors > Design and construction > Cleaning > Integrated circuits > Aufsatzsammlung > Halbleitertechnologie > Oberflächenbehandlung > Oberflächenreinigung > Nassverfahren
Online Zugang:Table of contents only
Publisher description
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Beschreibung
Beschreibung:Includes bibliographical references and index
Beschreibung:386 S
Ill., graph. Darst
27 cm
ISBN:0849335434
0-8493-3543-4
9780849335433
978-0-8493-3543-3