Micro-nanofabrication technologies and applications

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Cui, Zheng (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Beijing u.a. Springer u.a. 2005 Berlin, u.a. Springer 2005
Schlagworte:	Nanotechnology > Nanostructured materials > Mikrosystemtechnik > Nanotechnologie > Fotolithografie > Elektronenstrahllithografie > Ionenstrahllithografie > Ätzen > MEMS > Nanostrukturiertes Material
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