Chemical-mechanical planarization - integration, technology and reliability : symposium held March 28 - 31, 2005, San Francisco, California, U.S.A. ; [symposium W held at the 2005 MRS spring meeting]

Chemical-mechanical planarization - integration, technology and reliability symposium held March 28 - 31, 2005, San Francisco, California, U.S.A. ; [symposium W held at the 2005 MRS spring meeting]

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Kumar, Ashok (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Warrendale, Pa. Materials Research Society 2005
Schriftenreihe:Materials Research Society symposium proceedings 867
Schlagworte:
Microelectronics > Materials > Grinding and polishing > Metals > Pickling > Semiconductors > Surfaces > Chemical mechanical planarization > Konferenzschrift > Halbleiterwerkstoff > Chemisches Polieren
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Beschreibung
Beschreibung:XI, 302 S
ISBN:1558998209
1-55899-820-9