2004 5th AVS International Conference on Microelectronics and Interfaces : March 1 - 3, 2004, Santa Clara, California, USA ; [proceedings ; in conjunction with the Northern California Chapter short courses and the 25th annual equipment exhibition]

2004 5th AVS International Conference on Microelectronics and Interfaces March 1 - 3, 2004, Santa Clara, California, USA ; [proceedings ; in conjunction with the Northern California Chapter short courses and the 25th annual equipment exhibition]

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaften: International Conference on Microelectronics and Interfaces (VerfasserIn), American Vacuum Society (BerichterstatterIn), American Vacuum Society Northern California Chapter (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Cale, Timothy S. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: New York, NY AVS 2004
Schlagworte:
Konferenzschrift
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