2004 5th AVS International Conference on Microelectronics and Interfaces March 1 - 3, 2004, Santa Clara, California, USA ; [proceedings ; in conjunction with the Northern California Chapter short courses and the 25th annual equipment exhibition]

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaften:	International Conference on Microelectronics and Interfaces (VerfasserIn), American Vacuum Society (BerichterstatterIn), American Vacuum Society Northern California Chapter (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Cale, Timothy S. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	New York, NY AVS 2004
Schlagworte:	Konferenzschrift
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