Schlussbericht zum Teilprojekt mit dem Thema "Absolute Messung der Topographie von Kalibrier-Prüfkörpern mit einer Wellenlänge im sichtbaren Spektralbereich und Aufbau einer Scanning-Apparatur zur Topographiemessung unter Verwendung einer Messwellenlänge von 13nm" : im Verbundvorhaben "Nanometer-Optikkomponenten (NOK)"

Schlussbericht zum Teilprojekt mit dem Thema "Absolute Messung der Topographie von Kalibrier-Prüfkörpern mit einer Wellenlänge im sichtbaren Spektralbereich und Aufbau einer Scanning-Apparatur zur Topographiemessung unter Verwendung einer Messwellenlänge von 13nm" im Verbundvorhaben "Nanometer-Optikkomponenten (NOK)"

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Schulz, Michael (VerfasserIn)
Körperschaft: Physikalisch-Technische Bundesanstalt (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Illemann, Jens (VerfasserIn), Geckeler, Ralf (VerfasserIn), Weingärtner, Ingolf (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Braunschweig ca. 2004
Schlagworte:
Forschungsbericht > Oberflächenprüfung > Formmessung > Kalibrieren
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Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMBF 13 N 7935. - Literaturverz. - Engl. Zsfassung u.d.T.: Absolute measurement of the topography of calibration artifacts with a wavelength in the visible spectral region and realization of a scanning set-up for topography measurements using a measurement wavelength of 13nm
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Auch als elektronische Ressource vorh
Beschreibung:26 Bl
Ill., graph. Darst