Abschlussbericht für das Verbundprojekt: NOK Nanometer-Optikkomponenten, Teilvorhaben: Bearbeitungssystem und Technologie CCP

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Herold, V. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Jena Univ., IMT Inst. f. Materialwissenschaft u. Werkstofftechnologie ca. 2003
Schlagworte:	Forschungsbericht > Ultrapräzisionsbearbeitung > Optische Fläche
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