Abschlussbericht für das Verbundprojekt: NOK Nanometer-Optikkomponenten, Teilvorhaben: Bearbeitungssystem und Technologie CCP

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Herold, V. (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Jena Univ., IMT Inst. f. Materialwissenschaft u. Werkstofftechnologie ca. 2003
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Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMBF 13 N 7936. - Verbund-Nr. 01019484
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Auch als elektronische Ressource vorh
Beschreibung:30 Bl
Ill., graph. Darst