Silver metal organic chemical vapor deposition for microelectronic metallization

Zugl.: München, Techn. Univ., Diss., 2005

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Gao, Liming (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Aachen Shaker 2005
Schriftenreihe:Selected topics of electronics and micromechatronics 15
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Beschreibung
Zusammenfassung:Zugl.: München, Techn. Univ., Diss., 2005
Beschreibung:IV, V, 173 S
Ill., graph. Darst
21 cm
ISBN:3832238956
3-8322-3895-6