Special issue on microoptical metrology in China [seven papers ... presented at the Meeting of Micromechanical Behaviors Metrology and Applications, held in Beijing, China, on 24 - 26 October 2003]

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Meeting of Micromechanical Behaviors Metrology and Applications (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Li, Xide (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Boston u.a. Elsevier 2005
Schriftenreihe:Optics and lasers in engineering 43.2005,8
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Beschreibung
Beschreibung:S. 833 - 918