Special issue on microoptical metrology in China [seven papers ... presented at the Meeting of Micromechanical Behaviors Metrology and Applications, held in Beijing, China, on 24 - 26 October 2003]
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Weitere Verfasser: | |
Format: | UnknownFormat |
Sprache: | eng |
Veröffentlicht: |
Boston u.a.
Elsevier
2005
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Schriftenreihe: | Optics and lasers in engineering
43.2005,8 |
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Beschreibung: | S. 833 - 918 |
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