Entwicklung eines neuen Feldeffekt-Gassensors mit hybridem Gate-Aufbau und vertikalem Transistordesign

Zugl.: München, Univ. der Bundeswehr, Diss., 2005

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Freitag, Gunter (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Göttingen Cuvillier 2005
Schlagworte:	Hochschulschrift > Gassensor > FG-FET > SOI-Technik
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