The Fifth International Workshop on High Aspect Ratio Micro Structure Technology, HARMST was held in Monterey, CA USA in June 2003 Pt. 2

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: HARMST (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Berlin u.a. Springer 2005
Schriftenreihe:Microsystem technologies 11.2005,4/5
Schlagworte:
Konferenzschrift
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Beschreibung
Beschreibung:A4 S., S. 225 - 384
Ill., graph. Darst