Micro and Nano Engineering 2004 proceedings of the 30th International Conference on Micro and Nano Engineering, September 19 - 22, 2004, Rotterdam, The Netherlands
Gespeichert in:
| Körperschaft: | |
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| Weitere Verfasser: | |
| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | eng |
| Veröffentlicht: |
Amsterdam u.a.
Elsevier
2005
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| Schriftenreihe: | Microelectronic engineering
78/79.2005 |
| Schlagworte: | |
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| Beschreibung: | S. V - XII, 720 S Ill., graph. Darst |