Low temperature chemical vapor deposition of 3C-SiC on Si substrates

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Silicon carbide and related materials 2004
Weitere Verfasser:	Förster, Christian (BerichterstatterIn), Cimalla, Volker (BerichterstatterIn), Ambacher, Oliver (BerichterstatterIn), Pezoldt, Jörg (BerichterstatterIn)
Pages:	2004
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2005
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Titel	Jahr	Verfasser
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