CD-Metrology : proceedings of the 188th PTB-Seminar, 20th Nov. 2003

CD-Metrology proceedings of the 188th PTB-Seminar, 20th Nov. 2003

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaften: Physikalisch-Technische Bundesanstalt Abteilung Fertigungsmesstechnik (BerichterstatterIn), Seminar CD-Metrology (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Bosse, Harald (BerichterstatterIn), Bodermann, Bernd (BerichterstatterIn), Mirandé, Werner (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Bremerhaven Wirtschaftsverl. NW, Verl. für neue Wissenschaft 2004
Schriftenreihe:PTB-Bericht Fertigungsmesstechnik 48
Schlagworte:
Konferenzschrift > Forschungsbericht > Nanostruktur > Mikrostruktur > Messtechnik
Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
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