CD-Metrology : proceedings of the 188th PTB-Seminar, 20th Nov. 2003

CD-Metrology proceedings of the 188th PTB-Seminar, 20th Nov. 2003

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaften: Physikalisch-Technische Bundesanstalt Abteilung Fertigungsmesstechnik (BerichterstatterIn), Seminar CD-Metrology (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Bosse, Harald (BerichterstatterIn), Bodermann, Bernd (BerichterstatterIn), Mirandé, Werner (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Bremerhaven Wirtschaftsverl. NW, Verl. für neue Wissenschaft 2004
Schriftenreihe:PTB-Bericht Fertigungsmesstechnik 48
Schlagworte:
Konferenzschrift > Forschungsbericht > Nanostruktur > Mikrostruktur > Messtechnik
Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Beschreibung:184 S.
überw. Ill. und graph. Darst., Kt.
ISBN:3865091113
3-86509-111-3