BMBF-Förderprogramm Informationstechnik Verbundprojekt: MEMS-SIMMWIC-Systemintegration ; Abschlussbericht ; Projektlaufzeit: 1.11.2000 - 31.10.2003

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaften:	Robert Bosch GmbH Zentralabteilung Forschung (BerichterstatterIn), Universität Stuttgart Institut für Halbleitertechnik (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Stuttgart 2004
Schlagworte:	Forschungsbericht
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