BMBF-Förderprogramm Informationstechnik : Verbundprojekt: MEMS-SIMMWIC-Systemintegration ; Abschlussbericht ; Projektlaufzeit: 1.11.2000 - 31.10.2003

BMBF-Förderprogramm Informationstechnik Verbundprojekt: MEMS-SIMMWIC-Systemintegration ; Abschlussbericht ; Projektlaufzeit: 1.11.2000 - 31.10.2003

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaften: Robert Bosch GmbH Zentralabteilung Forschung (BerichterstatterIn), Universität Stuttgart Institut für Halbleitertechnik (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Stuttgart 2004
Schlagworte:
Forschungsbericht
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Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMBF 01 M 3109 A. - Literaturangaben
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Auch als elektronische Ressource vorh
Beschreibung:137 Bl
Ill., graph. Darst