Experimentelle Grundlagenuntersuchungen zur akustischen Steuerung des Drahtsägens von Siliziumwafern bei hoher Flächenerzeugungsrate Verbundprojekt: Drahtsägen ; Abschlußbericht: Zeitraum 01.05.1999 bis 31.12.2003

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Deutsche Solar AG (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Bachmann, Andreas (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Freiberg 2004
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Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMBF 0329667 F. - Verbund-Nr. 01001407. - Literaturverz. Bl. 33
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Auch als elektronische Ressource vorh
Beschreibung:33 Bl
Ill., graph. Darst