Experimentelle Grundlagenuntersuchungen zur akustischen Steuerung des Drahtsägens von Siliziumwafern bei hoher Flächenerzeugungsrate Verbundprojekt: Drahtsägen ; Abschlußbericht: Zeitraum 01.05.1999 bis 31.12.2003
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Sprache: | ger |
Veröffentlicht: |
Freiberg
2004
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Beschreibung: | Förderkennzeichen BMBF 0329667 F. - Verbund-Nr. 01001407. - Literaturverz. Bl. 33 Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden Auch als elektronische Ressource vorh |
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Beschreibung: | 33 Bl Ill., graph. Darst |