Materials, technology and reliability for advanced interconnects and low-k dielectrics - 2004 : symposium held April 13 - 15, 2004, San Francisco, California, U.S.A. ; [papers presented at Symposium F, held at the 2004 MRS spring meeting]

Materials, technology and reliability for advanced interconnects and low-k dielectrics - 2004 symposium held April 13 - 15, 2004, San Francisco, California, U.S.A. ; [papers presented at Symposium F, held at the 2004 MRS spring meeting]

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Carter, R. J. (BerichterstatterIn), Carter, R. (HerausgeberIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Warrendale, Penns. Materials Research Society 2004
Schriftenreihe:Materials Research Society symposium proceedings 812
Schlagworte:
Semiconductors > Materials > Junctions > Dielectric films > Integrated circuits > Reliability > Konferenzschrift
Online Zugang:Verlagsangaben
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Beschreibung
Beschreibung:XIII, 402 S
graph. Darst.
ISBN:1558997628
1-55899-762-8