Zur Kinetik der Oxydation und Siliziumdiffusion in hochschmelzenden Silizidschichtsystemen

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Matthias, Klaus (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Veröffentlicht: Bamberg Rodenbusch 1969
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Beschreibung
Beschreibung:Karlsruhe Univ., F. f. Maschinenbau u. Verfahrenstechn., Diss. v. 23.5.1969
Beschreibung:179 S.