Entwicklung komplexer Schichten auf Basis CrAlN + C mittels eines PVD-Hybrid-Prozesses basierend auf einem simultanen Betrieb der Arc- und Sputter-Quellen Schlußbericht für den Zeitraum: 01.07.2000 bis 30.06.2002

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Lugscheider, E. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Bobzin, K. (VerfasserIn), Lackner, K. (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Aachen Lehr- und Forschungsgebiet Werkstoffwissenschaften, Lehrstuhl für Läsertechnik, RWTH 2002
Schlagworte:
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen AiF 12529 N 1. - Literaturverz. Bl. 30 - 31
Beschreibung:31 Bl
Ill., graph. Darst