Entwicklung komplexer Schichten auf Basis CrAlN + C mittels eines PVD-Hybrid-Prozesses basierend auf einem simultanen Betrieb der Arc- und Sputter-Quellen Schlußbericht für den Zeitraum: 01.07.2000 bis 30.06.2002
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Sprache: | ger |
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Aachen
Lehr- und Forschungsgebiet Werkstoffwissenschaften, Lehrstuhl für Läsertechnik, RWTH
2002
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Beschreibung: | Förderkennzeichen AiF 12529 N 1. - Literaturverz. Bl. 30 - 31 |
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Beschreibung: | 31 Bl Ill., graph. Darst |