Microprocesses and nanotechnology [the 16th International Microprocesses and Nanotechnology Conference held on October 29 - 31, 2003, Tokyo]

Bibliographische Detailangaben

Weitere Verfasser:	Arimoto, Hiroshi (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Tokyo Publication Office, The Japan Society of Applied Physics 2004
Schriftenreihe:	Japanese journal of applied physics Regular papers, brief communications & review papers 43.2004,6B = 595
Schlagworte:	Konferenzschrift > Nanotechnologie > Mikromechanik
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