Proceedings of the Symposium on Characterization and Mechanical Reliability of Advanced Electronic Materials at Nanoscale, 2003 ASME Mechanics and Materials Conference June 17 - 20, 2003, Phoenix, AZ, USA

Bibliographische Detailangaben

Körperschaften:	Symposium on Characterization and Mechanical Reliability of Advanced Electronic Materials at Nanoscale (VerfasserIn), American Society of Mechanical Engineers (BerichterstatterIn), Mechanics and Materials Conference (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Volinsky, Alex A. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Amsterdam u.a. Elsevier 2004
Schriftenreihe:	Microelectronic engineering 75.2004
Schlagworte:	Konferenzschrift
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