20th European Conference on Mask Technology for Integrated Circuits and Microcomponents : 12 - 14 January 2004, Dresden, Germany

20th European Conference on Mask Technology for Integrated Circuits and Microcomponents 12 - 14 January 2004, Dresden, Germany

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaften: EMC (VerfasserIn), Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik (BerichterstatterIn), Institut für Mikrostrukturtechnik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Behringer, Uwe F. W. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Bellingham, Wash. SPIE 2004
Schriftenreihe:SPIE proceedings series 5504
Schlagworte:
Integrated circuits > Masks > Microlithography > Konferenzschrift
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Beschreibung
Beschreibung:XXIV, 210 S
ISBN:0819454370
0-8194-5437-0