Conference proceedings / ESCAMPIG 16, Sixteenth European Conference on Atomic & Molecular Physics of Ionized Gases [and] ICRP 5, Fifth International Conference on Reactive Plasmas [as international version of the Symposium on Plasma Processing (SPP)] joint conference; Grenoble, France, 14 - 18 July 2002 Vol. 1 Monday 15th, and Tuesday 16th
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | eng |
Veröffentlicht: |
Grenoble
2002
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Beschreibung: | XIII, 399 S |
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