4. Zwischenbericht und Abschlussbericht zum Teilprojekt Nano-SiGe-Bauelemente, Förderkennzeichen: 13N7900, Berichtszeitraum: 01.08.2000 - 31.07.2003, innerhalb des bmb+f-Verbundprojektes "Ultra-schnelle, ultra-verlustarme Informationstechnik-Komponenten mit Nano-SiGe-Bauelementen
SiGe Hetero-Fieldeffect-Transistors (HFETs), T - and [Gamma]-metal gates, nanotechnology, electron beam lithography
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | ger |
Veröffentlicht: |
Aachen
2003
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Zusammenfassung: | SiGe Hetero-Fieldeffect-Transistors (HFETs), T - and [Gamma]-metal gates, nanotechnology, electron beam lithography |
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Beschreibung: | Engl. Zsfassung u.d.T.: Ultra-fast and ultra-low-loss information technology components based on nano-SiGe devices Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden Auch als elektronische Ressource vorh |
Beschreibung: | 26 Bl Ill., graph. Darst |