Zur Selektivitätssteigerung von Halbleitergassensoren

Zugl.: Kassel, Univ., Diss., 2003

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Wöllenstein, Jürgen (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Aachen Shaker 2004
Schriftenreihe:	Messtechnik und Sensorik
Schlagworte:	Hochschulschrift > Sensor-Array > Metalloxid-Gassensor > Dünnschichtsensor > Halbleitersubstrat > Selektivität
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