MEDEA T201 CMOS-Logik mit Strukturen von 100 nm und darunter

MOCVD, AVD, interface control, gate-oxide, CMOS

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	Aixtron AG (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Aachen ca. 2003
Schlagworte:	Forschungsbericht
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