MEDEA T201 : CMOS-Logik mit Strukturen von 100 nm und darunter

MEDEA T201 CMOS-Logik mit Strukturen von 100 nm und darunter

MOCVD, AVD, interface control, gate-oxide, CMOS

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Aixtron AG (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Aachen ca. 2003
Schlagworte:
Forschungsbericht
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Zusammenfassung:MOCVD, AVD, interface control, gate-oxide, CMOS
Beschreibung:Förderkennzeichen BMBF 01 M 3055 A. - Verbund-Nr. 01020449
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Auch als elektronische Ressource vorh
Beschreibung:42 Bl
Ill., graph. Darst