Laser-assisted micro- and nanotechnologies 2003 : 29 June - 3 July 2003, St. Petersburg, Russia ; [selected papers of the 10th International Conference on Laser-Assisted Micro- and Nanotechnologies (LAM-X)]

Laser-assisted micro- and nanotechnologies 2003 29 June - 3 July 2003, St. Petersburg, Russia ; [selected papers of the 10th International Conference on Laser-Assisted Micro- and Nanotechnologies (LAM-X)]

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaften: Sankt-Peterburgskij Gosudarstvennyj Institut Točnoj Mechaniki i Optiki (BerichterstatterIn), International Conference on Laser-Assisted Micro- and Nanotechnologies (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Veiko, Vadim P. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Bellingham, Wash. SPIE 2004
Schriftenreihe:SPIE proceedings series 5399
Schlagworte:
Electronic industries > Technological innovations > Lasers > Industrial applications > Manufacturing processes > Micromachining > Nanotechnology > Konferenzschrift > Bibliografie > Lasertechnologie > Mikrosystemtechnik > Nanotechnologie
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Beschreibung
Beschreibung:X, 308 S
ISBN:0819453226
0-8194-5322-6