Verbundprojekt: Millenium Sensor Systems (MISSY). Teilprojekt: Energieoptimierte Mikrosysteme zur Gasanalyse Abschlußbericht
Gas sensors, thin oxide gas sensors, thin film technology, packaging, LTCC-ceramic, PTC-ceramic
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | ger |
Veröffentlicht: |
Hermsdorf
Siegert TFT GmbH
ca. 2003
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Zusammenfassung: | Gas sensors, thin oxide gas sensors, thin film technology, packaging, LTCC-ceramic, PTC-ceramic |
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Beschreibung: | Engl. Zsfass. u.d.T.: Millenium Sensor Systems (MISSY), part: energy optimized micro system for gas analysis Förderkennzeichen BMBF 16SV1127/0. - Verbund-Nr.: 01017698 |
Beschreibung: | 24 S graph. Darst |