Proceedings of the 13th Biennial Conference on Insulating Films on Semiconductors June 18 - 20, 2003, Barcelona, Spain : [The 13th Biannual Conference on Insulating Films on Semiconductors, INFOS 2003 ... ]
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| Körperschaft: | |
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| Weitere Verfasser: | |
| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | eng |
| Veröffentlicht: |
Amsterdam u.a.
Elsevier
2004
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| Schriftenreihe: | Microelectronic engineering
72.2004,1/4 |
| Schlagworte: | |
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| Beschreibung: | X, 454 S Ill., graph. Darst |