Self-Organization of Nanocluster delta-Layers at Ion-Beam-Mixed Si-SiO2 Interfaces
Zugl.: Dresden, Univ., Dipl.arb., 2003
Gespeichert in:
1. Verfasser: | |
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | eng |
Veröffentlicht: |
Dresden
FZR
2003
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Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
Schriftenreihe: | Wissenschaftlich-Technische Berichte
392 |
Schlagworte: | |
Online Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
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Zusammenfassung: | Zugl.: Dresden, Univ., Dipl.arb., 2003 |
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Beschreibung: | III, 91 S Ill., graph. Darst 30 cm |