Herstellung, Charakterisierung und elektrische Eigenschaften von modifizierten SiO2 Sol-Gel-Schichten für die Elektrotechnik/Elektronik

Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2004

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Shimamura, Aki (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Thust, Heiko (BerichterstatterIn), Knedlik, Christian (BerichterstatterIn), Hübert, Thomas (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	2004
Schlagworte:	Hochschulschrift > Dünne Schicht > Sol-Gel-Verfahren > Siliciumdioxid > Elektrische Eigenschaft
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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